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    高純氣體

       高純氣體(Purified Gases)氣體工業名詞,通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體

      高純氣體對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬,在半導體工業,高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣;高純氣體可作為配制混合氣的底氣。
      高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體,和無機高純氣體,

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